Полное описание

Кочеров, А. Н. Разработка и исследование фотонно-стимулированных технологических процессов получения оксидных пленок кремния на SiC : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Н. Кочеров. - Таганрог, 2004. - 17 с. - Библиогр.: с. 14-17(25 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.9.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-12322)

Шифр в сводном ЭК: ae1d414fd48d16bb0baa0cf4f3812fae

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽