Полное описание

Burg, B. Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit bebiebiger, ebener Oberflachengeometrie : Diss / B.Burg. - Karlsruhe , 1991. - 117 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; N4849). - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 113-116
Перевод заглавия: Параметрическое оптическое измерение при получении микроструктур с произвольной планиметрией поверхности:Дис.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4(043)

Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Производство -- Автоматизация

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ -- ОПТИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ПРИБОР
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/4849)

Шифр в сводном ЭК: ad9b90e9e3206810cdda03c9d7186c0d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽