Полное описание

Dry process : papers presented at the 17th dry process symposium,held 1-3 Nov.1995,Tokyo / DPS'95. - Tokyo : [s. n.], 1996. - 2403-2535 p. p. : ill. - (Japanese journal of applied physics.Pt.1, ISSN 0021-4922 ; vol.35,N 4B,1996). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.в конце текста

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(063)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Horiike, Y.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W2806/Vol.35,N 4B,1996)

Шифр в сводном ЭК: ad3b2f53079ee8e028645feaf93be7e3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽