Полное описание

Шемухин, А. А. Дефектообразование и рекристаллизация в пленках кремния на сапфире при ионном облучении : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.20 / А. А. Шемухин. - 2013. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22 (10 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.9-047.56(043)

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ -- ПРОИЗВОДСТВО
Аннотация: Экспериментально изучены процессы образования дефектов в пленках кремния на сапфире под действием ионного облучения и выявлены механизмы эпитаксиальной твердофазной рекристаллизации.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-11387)

Шифр в сводном ЭК: ac6753bfe8372ca1a12df3f219d38d90

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽