Полное описание

Microprocess : the 6th(5th intern.)microprocess conf.,Hiroshima,19-22 July,1993 / MPS 93. - Tokyo : [s. n.], 1993. - 5823-6300 p. p. : ill. - (Japanese j.of appl.physics Pt.1 Regular papers,short notes & review papers, ISSN 0021-4922 ; vol.32,N 12 B,1993). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.в конце книги

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84(062)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Horiike, Y.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W2806/Vol.32,N 12 B,1993)

Шифр в сводном ЭК: ab75aa7fda3a38d9ba34f309df4c1970

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽