Полное описание

Dry process : papers presented at the 16th Dry process symposium,held in Tokyo,10-11 Nov.1994 / DPS'94. - Tokyo : [s. n.], 1995. - 2073-2195 p. p. : ill. - (Japanese journal of applied physics.Pt.1 ; vol.34,N 4B,1995). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.в конце книги

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(063)
47.01.13

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Horiike, Y.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W2806/Vol.34,N 4B,1995)

Шифр в сводном ЭК: a5a053da3e97d3ca50a27248b0c567a4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽