Полное описание

Solid state phenomena : материалы временных коллективов. - Stafa-Zuerich : Trans tech publ., 2007 - . - Текст : непосредственный.
Vol. 134 : Ultra clean processing of semiconductor surfaces VIII : sel., peer rev. papers from the 8th Intern. symp. on ultra clean proc. of semiconductor surfaces (UCPSS), held in Antwerp, Belgium, Sept. 18-20, 2006 / International symposium on ultra clean processind of semiconductor surfaces (UCPSS) (8th; 2006; Antwerp) ; eds.: P. Mertens [et al.]. - 2008. - XIV, 390 p. : ill. - Библиогр. в конце докл. Указ.: с. 383-390

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002(063)

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Mertens, P.\ed.\
International symposium on ultra clean processind of semiconductor surfaces (UCPSS) (8th ; 2006 ; Antwerp)

Имеются экземпляры в отделах: всего -20090425 : ХР (-20090426), (1)
Свободны: ХР (1), (1)
Копия:

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/18265/134)

Шифр в сводном ЭК: a52130ecd2ea3dbfe81fade9638cd12f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽