Полное описание

Skeide, O. Allotaxie:Ein neues Verfahren zur Herstellung von Eisendisilizid- und Siliziumdioxid-Heterostrukturen in Silizium : Diss / O.Skeide. - Koln, 1993. - 103 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.93-100

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.9.002(043)

Рубрики:
Гетероструктуры -- Производство

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/25560)

Шифр в сводном ЭК: a494f8b0d7ca41b588b388debb82a6cf

Заказать издание
Заказ фрагмента документа