Полное описание

Королев, М. А.
Технология и конструкции интегральных микросхем : учеб.пособие / Королев М.А.,Ревелева М.А. - М. : [б. и.], 20 - . - В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Текст : непосредственный.
Ч. 1 : Основы технологических процессов изготовления кремниевых интегральных микросхем. - 2000. - 159 с. : ил. - 100 экз. - ISBN 5-7256-0246-X

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77

Рубрики:
Интегральные схемы

Доп. точки доступа:
Ревелева, М.А.

Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/58159/1)

Шифр в сводном ЭК: a3765fca4a2b52760e34fdb3fe7bf539

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽