Полное описание

Самойликов, Р. В. Исследование эксплуатационных характеристик теплообменных систем оборудования полупроводникового производства : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / Р.В. Самойликов. - 2005. - 22 с : ил. - Библиогр.: с. 22(6 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.01.76	697.9(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар06-1880)

Шифр в сводном ЭК: a1f3b131c0b6baecc7aee16c60d8fd0d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽