Полное описание

Одиноков, В. В. Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,07.27.07 / В. В. Одиноков. - М., 1995. - 32 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: НИИ точного машиностроения. Библиогр.: с.30-32(33 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002.5(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-6003)

Шифр в сводном ЭК: a051c4439c493d4be73bc1559a3e3205

Заказать издание
Заказ фрагмента документа