Полное описание
>
Micro-and nanoengineering 95 : MNE'95 : proc.of the intern.conf.on micro-and nanofabrication,Sept.25-29,1995,Aix en Provence / Ed. J. Perrocheau. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1996. - XVIII,626 p. p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; vol.30,N 1-4,1996). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.607-625
ГРНТИ | УДК | |
47.33.37 | 621.3.049.76(062) | |
81.13.30 | 620.3(063) |
Рубрики:
Микроэлектроника -- Съезды и конференции
Нанотехнологии -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа:
Perrocheau, J.\ed.\
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказ фрагмента документа ₽