Полное описание
>
Micro-and nanoengineering 94 : MNE'94 : proc.of the intern.conf.on micro-and nanofabrication,Sept.26-29,1994,Davos / Ed. H. W. Lehmann. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1995. - XVII,564 p. p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; vol.27,N 1-4,1995). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей
ГРНТИ | УДК | |
47.33.37 | 621.3.049.76(062) | |
81.13.30 | 620.3 |
Рубрики:
Микроэлектроника -- Съезды и конференции
Нанотехнологии -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа:
Lehmann, H.W.\ed.\
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказ фрагмента документа ₽