• ВХОД

    •  

    Полное описание

    W8956/Vol.21,N 1-4,1993
     Microcircuit engineering 92 : ME : proc.of the intern.conf.on microfabrication,held Sept.21-24,1992,Erlangen / Ed.: H. Ryssel, D. Stephani. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1993. - 500 p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; vol.21,N 1-4,1993). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей
    ГРНТИ УДК
    47.41621.3.049.77-047.84:776(062)
    47.01.13

    Рубрики:
    Электронолитография -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): электронолитография
    Доп. точки доступа:
    Ryssel, H.\ed.\
    Stephani, D.\ed.\
    Экз-ры полностью W8956/Vol.21,N 1-4,1993
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽