• ВХОД

    •  

    Полное описание

    W8956/Vol.17,N 1-4,1992
     Microcircuit engineering 91 : ME : proc.of the intern.conf.on microlithography,Sept.17-19,1991,Rome / Ed.: A. Tucciarone, A. Paoletti. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1992. - XVII,582 p. p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; vol.17,N 1-4,1992). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей.Указ.:с.567-582
    ГРНТИ УДК
    47.41621.3.049.77-047.84:776(062)
    47.01.13

    Рубрики:
    Электронолитография -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): электронолитография
    Доп. точки доступа:
    Tucciarone, A.\ed.\
    Paoletti, A.\ed.\
    Экз-ры полностью W8956/Vol.17,N 1-4,1992
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
    Свободны: ПНТ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽