Полное описание

W8956/2013, Vol. 102
International conference on materials for advanced technologies (6 ; 2011 ; Suntec City). Selected papers from the nanoscale imaging, fabrication and materials modification using ion beams symposium - ICMAT 2011 : and selected papers from the 2011 13th SEMATECH surface preparation and cleaning conference, Austin, Tx, Mar. 21-23, 2011 / International conference on materials for advanced technologies (6 ; 2011 ; Suntec City) . SEMATECH surface preparation and cleaning conference (13 ; 2011 ; Austin, Tx) ; ed.: J. van Kan, A. Bettiol. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2013. - 105 p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; 2013, Vol. 102). - Библиогр. в конце ст. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
81.09	620.22(063)

Рубрики:
Материалы -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Kan, J. van\ed.\
Bettiol, A.\ed.\
SEMATECH surface preparation and cleaning conference (13 ; 2011 ; Austin, Tx)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽