Полное описание

W8956/2012, Vol. 98, Pt. 2
NME 2011 : micro- and nano-engineering (MNE) 2011, selected contributions, Sept. 19-23, 2011, Berlin. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2011 - . - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317, 2012, Vol. 98). - Текст : непосредственный.
Pt. 2 / Ed. D. Kern. - 2012. - XIII, 739 p. : ill. - Библиогр. в конце ст. - Б. ц.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76(062)
81.13.30	620.3(063)

Рубрики:
Микроэлектроника -- Съезды и конференции
Нанотехнологии -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Kern, D.\ed.\

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽