• ВХОД

    •  

    Полное описание

    W8956/2011, Vol. 88, iss. 5
     International workshop on materials for advanced metallization (2010 ; Mechelen (Malines)). The 2010 International workshop on materials for advanced metallization, was held from Mar. 7th to Mar. 10th in Mechelen (Malines), Belgium / International workshop on materials for advanced metallization (2010 ; Mechelen (Malines)) ; ed.: Y. Travaly, C. Detavernier. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2011. - VIII, 536-845 p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; 2011, Vol. 88, iss. 5). - Библиогр. в конце ст. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76-047.84:621.793(062)

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Металлизация -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    Travaly, Y.\ed.\
    Detavernier, C.\ed.\
    Экз-ры полностью W8956/2011, Vol. 88, iss. 5
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1
    Свободны: 1