Полное описание

W8956/2011, Vol. 88, iss. 12
Advanced gate stack technology 2008 : sel. papers from the SEMATECH SPCC 2010 / ed. B. H. Lee. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2011. - 3377-3469, III p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; 2011, Vol. 88, iss. 12). - Библиогр. в конце ст. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.032.27(063)

Рубрики:
Электроды полупроводниковых приборов -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Lee, B. H.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽