• ВХОД

    •  

    Полное описание

    W8956/2002, Vol.60, N 1/2/2002
     European workshop on materials for advanced metallization (Sigtuna). Proceedings of the 5th European workshop on materials for advanced metallization, Sigtuna, Mar. 5-7, 2001 / Ed.: M.Ostling ; European workshop on materials for advanced metallization (Sigtuna) . - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2002. - 294 p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; 2002, Vol.60, N 1/2) ; 2002). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце ст.
    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.84:621.793(062)

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Металлизация -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    Zhang, S-L.\ed.\
    Ostling, M.\ed.\
    Экз-ры полностью W8956/2002, Vol.60, N 1/2/2002
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ЧЗ (1)
    Свободны: ЧЗ (1)