Полное описание

Журнал
Journal of Vacuum Science and Technology. Ser.B, Microelectronics Processing Phenomena. - New York, NY : American Vacuum Society. - Выходит раз в два месяца. - ISSN 0734-211X. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ + 29.19 + 47.09 + 81.09

Аннотация: Статьи, обзоры, в т.ч. критического характера, сообщения, краткие отчеты и комментарии по теоретическим и прикладным проблемам использования вакуумных систем и технологий в науке и технике. Часть В посвящена микроэлектронике и наноразмерным структурам: исследования структуры и свойств материалов (тонкие пленки, фотонные кристаллы, металлы и сплавы, полупроводники, наноструктуры, нанокомпозиты и др.); структура, топография, свойства, обработка поверхностей, микро- и нанолитография; вакуумметрия; методы электронной микроскопии; физика плазмы, устройства, плазменные технологии; проектирование, моделирование, производство наноструктур, компонентов и систем вакуумной микро- и наноэлектроники; применение вакуумной техники.

Записей номеров в Каталоге: 72

Год Том Номера 1 2 3 4 5 6 2002 VOL.11,N 2,1993               VOL.11,N 3,1993               VOL.11,N 4,1993               VOL.13,N 2,1995               VOL.13,N 3,1995               VOL.13,N 4,1995               VOL.13,N 6,1995               VOL.14,N 1,1996               VOL.14,N 2,1996               VOL.14,N 3,1996               1993 11       1995 13     1996,VOL.14,N 4               1996,VOL.14,N 6               1996,VOL.15,N 2               1996 14     1997,VOL.15,N 4               1997,VOL.15,N 6               1997 15     1998,VOL.16,N 1               1998 16               1999,VOL.17,N 2               1999,VOL.17,N 3               1999,VOL.17,N 4               1999 17     2000,VOL.18,N 1               2000 18     2001,VOL.19,N 6               2001 19     2002,VOL.20,N 3               2002 20     2003,VOL.21,N 1               2003 21