• ВХОД

    •  

    Полное описание

    W8873/2001,Vol.19,N 6
     International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (45th ; 2001 ; Washington(DC)). Papers from the 45th international conference, 29 May-1 Jun.2001, Washington(DC) / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (45th ; 2001 ; Washington(DC)) ; Ed. M. McCord. - New York, NY : Inst. of physics, 2001. - 2007-3037, A21 p. A21 p. : ill. - (Journal of vacuum sciece & technology B, ISSN 1071-1023 ; 2001,Vol.19,N 6). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце ст. Указ.:с.2935-3037
    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.9.048.7(062)
    47.13.33621.3.049.76.002(062)

    Рубрики:
    Электронно-ионная обработка -- Съезды и конференции
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): электронные пучки -- электронно-ионная обработка -- микроэлектронный прибор
    Доп. точки доступа:
    McCord, M.\ed.\
    Экз-ры полностью W8873/2001,Vol.19,N 6
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ЧЗ (1)
    Свободны: ЧЗ (1)