Полное описание

W8873/1998,Vol.16,N 1
Microelectronics and nanometer structures: processing,measurement, and phenomena : papers from the 4th intern.workshop on the measurement and characterization of ultra-shallow doping profiles in semiconductors,S.l.,S.a. / Ed. G. E. McGuire. - New York, 1998. - 482 p. : ill. - (Journal of vacuum science & technology B, ISSN 0734-211X ; 1998,Vol.16,N 1). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76(062)

Рубрики:
Микроэлектроника -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
McGuire, G.E.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽