Полное описание

W2806/Vol.34,N 4B,1995
Dry process : papers presented at the 16th Dry process symposium,held in Tokyo,10-11 Nov.1994 / DPS'94. - Tokyo, 1995. - 2073-2195 p. p. : ill. - (Japanese journal of applied physics.Pt.1, ISSN 0021-4922 ; vol.34,N 4B,1995). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.в конце книги

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(063)
47.01.13

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Horiike, Y.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽