Полное описание

W2806/Vol.33,N 7B,1994
Plasma processing : papers presented at the 2nd intern.conf.on reactive plasma and 11th symp.on plasma processing(SPP-11),held in Yokohama,Jan.19-21 1994 / ICRP-2. - Tokyo, 1994. - 4157-4490,12 p. p. : ill. - (Japanese journal of applied physics.Pt.1, ISSN 0021-4922 ; vol.33,N 7B,1994). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.в конце книги

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.9.04:533.9(062)
31.15.29	66.088(062)
	66.091.088(062)

Рубрики:
Плазменная обработка материалов -- Съезды и конференции
Плазмохимия -- Съезды и конференции
Синтез -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): плазменная обработка -- плазмохимия -- синтез
Доп. точки доступа:
Makabe, T.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽