Полное описание

W2806/Vol.33,N 4B,1994
Dry process : the 15th Dry process symp.,Tokyo,Nov.1-2,1993 / DPS 93. - Tokyo, 1994. - 2133-2438 p. p. - (Japanese journal of applied physics.Pt.1, ISSN 0021-4922 ; vol.33,N 4B,1994). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(063)
47.01.13

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
Horiike, Y.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽