Полное описание

W2806/Vol.32,N 12 B,1993
Microprocess : the 6th(5th intern.)microprocess conf.,Hiroshima,19-22 July,1993 / MPS 93. - Tokyo, 1993. - 5823-6300 p. p. : ill. - (Japanese j.of appl.physics Pt.1 Regular papers,short notes & review papers, ISSN 0021-4922 ; vol.32,N 12 B,1993). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.в конце книги

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84(062)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
Horiike, Y.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽