• ВХОД

    •  

    Полное описание

    W2806/2000,Vol.39,N 7B
     International symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication (3rd ; 1999 ; Tokyo). Papers presented at the 3rd international symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication, Tokyo, Nov.29- Dec.1, 1999 / ISSS-3 ; International symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication (3rd ; 1999 ; Tokyo) . - Tokyo : The Japan soc. of appl. phys., 2000. - 4255-4691 p. p. : ill. - (Japanese journal of applied physics, ISSN 0021-4922 ; 2000,Vol.39,N 7B). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце ст. Указ.в конце кн.
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002(063)

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор
    Доп. точки доступа:
    Asahi, H.\ed.\
    Экз-ры полностью W2806/2000,Vol.39,N 7B
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
    Свободны: ПНТ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽