Полное описание

W10554/Vol.9,N 1,1996
International conference on microelectronic test structures (1995 ; Nara). Papers presented at the IEEE International conference on microelectronic test structures,Nara,Japan,March 22-25,1995 / ICMTS'95 ; International conference on microelectronic test structures (1995 ; Nara) . - New York, 1996. - 152 p. : ill. - (Semiconductor manufacturing, ISSN 0894-6507 ; vol.9,N 1,1996). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.001.4(063)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Испытание -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Tomaki, Y.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽