• ВХОД

    •  

    Полное описание

    W10554/1998,Vol.11,N 1
     International symposium on semiconductor manufacturing (5th ; 1996 ; Tokyo). Papers selected from presentations at the 5th international symposium... held in Tokyo,Oct.2-4,1996 / ISSM ; International symposium on semiconductor manufacturing (5th ; 1996 ; Tokyo) . - New York, 1998. - 172 p. : ill. - (IEEE transactions on semiconductor manufacturing, ISSN 0894-6507 ; 1998,Vol.11,N 1). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592.002(063)
    621.382-047.84(062)

    Рубрики:
    Полупроводники -- Обработка -- Съезды и конференции
    Полупроводниковые приборы -- Производство -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): полупроводник -- полупроводниковый прибор
    Доп. точки доступа:
    Hattori, T.\ed.\
    Экз-ры полностью W10554/1998,Vol.11,N 1
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ЧЗ (1)
    Свободны: ЧЗ (1)