• ВХОД

    •  

    Полное описание

    S/898/3
     Mieroprocess'89 : proc.of the 1989 intern.symp.on microprocess conf.,July 2-5, 1989 Kobe / Ed.: S. Namba, T. Kitayama. - Tokyo : [s. n.], 1989. - 385 p. : ill. - (Japanese journal of applied physics: JJAP series, ISSN 0914-9090 ; n3). - ISBN 4-900526-03-7 : 59.00 р. - Текст : непосредственный.
    Библиогр. в конце ст.Указ. в конце кн.
    Перевод заглавия: Микропроцессъ89:Труды межд. симп. 1989 Кобе
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.77-047.84:776(062)

    Рубрики:
    Фотолитография -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): фотолитография
    Доп. точки доступа:
    Namba, S.\ed.\
    Kitayama, T.\ed.\
    Экз-ры полностью S/898/3
    Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
    Свободны: ХР (1), (2)
    Копия:



    Заказ фрагмента документа ₽