Полное описание
>
Zucker, O. Ein integrierter Druck-/Temperatursensor in Siliziumplanartechnik : Diss. / O.Zucker. - dusseldorf : VDI Verl., 1991. - (Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 9, Elektronik / Verein Dt.Ing., ISSN 0178-9422 ; N124). - ISBN 3-18-142409-9. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.135-147
ГРНТИ | УДК | |
50.09.37 | 681.586'36(043) | |
59.37.33 | 681.586'33(043) |
Рубрики:
Датчики давления
Датчики температуры
Кл.слова (ненормированные): датчик -- датчик>
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:
Заказ фрагмента документа ₽