Полное описание

S/378/122
Niewohner, L. ITM-prozessierte CoSi2-Kontakte fur grossintegrierte CMOS-Schaltungen : Diss. / L.Niew@:ohner. - dusseldorf : VDI Verl., 1991. - 112 S. : Ill. - (Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 9, Elektronik / Verein Dt.Ing., ISSN 0178-9422 ; N122). - ISBN 3-18-142209-6. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.108-112

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002(043)

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Металлизация

Кл.слова (ненормированные): большая интегральная схема
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽