Полное описание

S/356/180
Peters, D. Herstellung und Untersuchung von PECVD-Siliziumoxinitridschichten fur die integrierte Optik / D.Peters. - Dusseldorf : VDI, 1991. - IX,210 S. S. : Ill. - (Fortschritt-Berichte. R.10, Informatik/Kommunikationstechnik / Verein dt.Ing., ISSN 0178-9627 ; N180). - ISBN 3-18-148010-X : 60000 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.131-137

ГРНТИ	УДК
29.33.39	621.3.049.77.082.5

Рубрики:
Интегральная оптика

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽