Полное описание

S/333/5393
Stucky, K. -U. Rechnergestutzte Vermessung von dreidimensionalen Mikrostrukturen : Diss. / K.-U.Stucky. - Karlsruhe : [s. n.], 1994. - 120 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; 5393). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.115-120

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002(043)
	621-181.4(043)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Миниатюрные изделия -- Производство

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор -- миниатюрное изделие
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽