Полное описание
>
Burbaum, C. Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik / C.Burbaum,J.Mohr. - Karlsruhe : [s. n.], 1991. - 64 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; N4859). - 3.00 р. - Текст : непосредственный.
Рез.англ.,нем.Библиогр.:с.62-64
ГРНТИ | УДК | |
50.09.37 | 681.586'325 |
Рубрики:
Датчики ускорения
Кл.слова (ненормированные): датчик
Доп. точки доступа:
Mohr, J.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:
Заказ фрагмента документа ₽