Полное описание

S/333/4849
Burg, B. Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit bebiebiger, ebener Oberflachengeometrie : Diss / B.Burg. - Karlsruhe : [s. n.], 1991. - 117 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; N4849). - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 113-116
Перевод заглавия: Параметрическое оптическое измерение при получении микроструктур с произвольной планиметрией поверхности:Дис.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4(043)

Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Производство -- Автоматизация

Кл.слова (ненормированные): миниатюрное изделие -- микроэлектронный прибор -- оптический контрольно-измерительный прибор
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽