Полное описание

S/333/4711
Harmening, M. Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhohe aus elektrisch isolierenden und leitfahigen Kunststoffen / M.Harmening,W.Ehrfeld. - Karlsruhe : [s. n.], 1990. - 112 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; N4711). - 3.00 р. - Текст : непосредственный.
Рез. англ. Библиогр.: с.109-112

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
Ehrfeld, W.

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽