Полное описание

R/9632/318
Advances in rapid thermal and integrated processing : proc.of the NATO Advanced study inst.on advances in rapid thermal and integrated processing,Acquafredda di Maratea,Italy,July 3-14,1995 / Ed. F. Roozeboom. - Dordrecht [etc.] : Kluwer, 1996. - XII,565 p. p. : ill. - (NATO advanced study institutes series. Ser.E, Applied sciences ; vol.318). - ISBN 0-7923-4011-6 : 120000 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце глав.Указ.:с.557-565

ГРНТИ	УДК
47.13.17	621.3.049.771.14.002(063)

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Производство -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Roozeboom, F.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ПНТ (1), (2)
Свободны: ПНТ (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽