Полное описание

R/9632/264
NANOLITHOGRAPHY: a borderland between STM,EB,IB,and X-ray lithographies : proc.of the NATO advanced research workshop on NANOLITHOGRAPHY...Roma,Apr.6-8,1993 / ed. M. Gentili. - Dordrecht [etc.] : Kluwer, 1994. - VIII,215 p. p. : ill. - (NATO advanced study institutes series. Ser.E, Applied sciences ; vol.264). - ISBN 0-7923-2794-2 : 137000 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.213,215

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84:776(062)

Рубрики:
Электронолитография -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Gentili, M.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ПНТ (1), (2)
Свободны: ПНТ (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽