Полное описание

R/9632/234
Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies: techniques, fundamentals and devices : proc.of the NATO advanced study inst.on multicomponent and multilayered... BadWindsheim, Sept.21-Oct.2,1992 / сост.ed. O. Auciello, сост.ed. J. Engemann. - Dordrecht [etc.] : Kluwer, 1993. - 633 p. : ill. - (NATO advanced study institutes series. Ser.E, Applied sciences ; vol.234). - ISBN 0-7923-2265-7 : 304000 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.631-633

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76-416(063)
47.01.13

Рубрики:
Пленочная микроэлектроника -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Auciello, O.\ed.\
Engemann, J.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽