Полное описание

R/8035/IPP 9/82
Sputtering data / W.Eckstein,C.Garcia-Rosales,J.Roth,W.Ottenberger. - Garching ; M@:unchen : [s. n.], 1993. - 342 p. : ill. - (Berichte / Inst.fur Plasmaphysik ; IPP 9/82). - 100-00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце книги

ГРНТИ	УДК
29.19.16	539.23

Рубрики:
Пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): пленка
Доп. точки доступа:
Eckstein, W.
Garcia-Rosales, C.
Roth, J.
Ottenberger, W.

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽