Полное описание

R/8035/IPP 4/267
Friedl, A. Aufbau eines in-situ-IR-Spektralellipsometers zur Charakterisierung plasmadeponierter C:H-Schichten : Diss. / A.Friedl. - M@:unchen : [s. n.], 1994. - 91 S. : Ill. - (Berichte / Inst.fur Plasmaphysik ; IPP 4/267). - 500 р. - Текст : непосредственный.
Парал.загл.англ.Рез.англ.Библиогр.:с.88-91

ГРНТИ	УДК
59.14	681.785.35(043)
31.05.37	546.26'11.03:539.216.2(043)

Рубрики:
Эллипсометры
Углеродистые пленки -- Методы исследования

Кл.слова (ненормированные): эллипсометр -- углеродистая пленка
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽