Полное описание

R/8035/IPP 4/262
Engelhard, M. Messung und Modellierung absoluter Radikaldichten in einem ECR-Methanplasma : Diss. / M.Engelhard. - M@:unchen : [s. n.], 1993. - 123 S. : Ill. - (Berichte / Inst.fur Plasmaphysik ; IPP 4/262). - 150 р. - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.114-123

ГРНТИ	УДК
29.19	539.23(043)

Рубрики:
Пленки -- Производство

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽