Полное описание

R/7309/946
Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology III : proc.of the conf.,14-15 Mar.1988,Newport Bearch(Ca) / Ed. O. J. Glembocki. - Bellingham, Wa : SPIE , 1988. - VIII,234 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; vol.946). - ISBN 0-89252-981-4 : 30.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце гл.Указ.:с.233-234

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:535(062)
	621.315.592.002(062)

Рубрики:
Полупроводники -- Спектроскопия -- Съезды и конференции
Полупроводники -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): полупроводник -- полупроводник
Доп. точки доступа:
Glembocki, O.J.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽