Полное описание

R/7309/1189
Rapid isothermal processing : proc. of the meet., 12-13 Oct.1989,Sants Clara(Ca) / Ed. R. Singh. - Bellingham (Wa) : [s. n.], 1990. - VI,204 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; 1189). - ISBN 0-8194-0225-7 : 22.16 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце статей. - Указ.: с. 204
Перевод заглавия: Быстрая изотермическая обработка:Труды совещания, Санта Клара (Калифорния), октябрь 1989

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002(063)

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): полупроводник
Доп. точки доступа:
Singh, R.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽