Полное описание

R/7309/1188
Multichamber and in-situ processing of electronic materials : proc.of the meet.,10-11 Oct.1989,Santa Clara(Ca) / Ed. R. S. Freund. - Bellingham(Wa) : [s. n.], 1990. - VI,196 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; vol.1188). - ISBN 0-8194-0224-9 : 33.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ,:с.196

ГРНТИ	УДК
47.09	621.38.002.3(063)

Рубрики:
Электронные материалы -- Обработка -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): электронный материал
Доп. точки доступа:
Freund, R.S.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽