Полное описание

R/7309/1138
Optical microlithography and metrology for microcircuit fabrication : proc.of the meet.ECO 2, 27-28 Apr.1989,Paris / Ed.: M. J. Lacombat, S. Wittekoek. - Bellingham(Wa)) : [s. n.], 1989. - VII,206 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; vol.1138). - ISBN 0-8194-0174-9 : 39.11 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.206

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776(062)

Рубрики:
Фотолитография -- Съезды и конференции
Интегральные схемы -- Технический контроль -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): фотолитография -- интегральные схемы
Доп. точки доступа:
Lacombat, M.J.\ed.\
Wittekoek, S.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽