Полное описание

R/7309/1087
Integrated circuit metrology,inspection,and process control III : proc.of the meet.27-28 Feb.1989,San Jose(Ca) / Ed. K. M. Monaham. - Bellingham(Wa) : [s. n.], 1989. - X,535 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; vol.1087). - ISBN 0-8194-0122-6 : 45.72 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.Указ.:с.533-535

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.77:658.562(062)
47.13.11

Рубрики:
Интегральные схемы -- Технический контроль -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- оптоэлектроника
Доп. точки доступа:
Monaham, K.M.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽