Полное описание
>
RTP 2001 : 9th Intern. conf. on advanced thermal processing of semiconductors, Sept.25-29, 2001, Hilton Anchorage, Alaska / Ed. D. P. DeWitt. - [Piscataway, NJ] : IEEE, 2001. - 326 p. : ill. - (IEEE publications / Inst. of electrical a. electronics engineers ; 01EX513). - ISBN 0-9638251-0-4 : 40.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.315.592.002(063) |
Рубрики:
Полупроводники -- Термическая обработка -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа:
DeWitt, D.P.\ed.\
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:
Заказ фрагмента документа ₽